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商品化聚酰亞胺薄膜的來源與型號

點擊次數:920    發布日期:2017-11-06   本文鏈接:http://www.miribilla.net/datum/759.html

聚酰亞胺薄膜的商品化始于1965年DuPont公司大規模生產的Kapton薄膜。之后KanegafLIchi化學工業公司和Ube工業公司在20世紀80年代也實現了聚酰亞胺薄膜的商品化。
1、 Kapton聚酰亞胺薄膜
DuPont公司以商品名Kapton向市場推出一系列聚酰亞胺材料。有關材料的詳細性能資料可向DuPont高性能薄膜材料公司和DuPont日本分公司索取。
適用于微電子工業的薄膜有H(N)型、V(N)型、E(N)型和K(N)型等型號。N表示薄膜材料中是否含有可降低材料摩擦系數和增強卷曲性能(如卷一卷轉移等)的無機潤滑添加劑(約在1000 ppm數量級)。對于大多數應用,材料都需要潤滑填充劑,而字母N表示含有潤滑劑。H(N)和V(N)型薄膜都是由均苯四酸二酐(PMDA),和4,4 7一二氨基二苯醚(ODA)經化學反應制備的。它們的不同之處在于V(N)比H(N)型材料具有優異的體積穩定性,在25℃~300 ℃的溫度范圍內的收縮率很小。
Kapton聚酰亞胺薄膜
2、Apical聚酰亞胺薄膜
Kanegafuchi公司以商標名Apical向市場推出了一系列的聚酰亞胺薄膜產品。這些產品都是在日本制造的,*近幾年已開始在美國建立生產線,有關詳細資料可向Allied—Apical公司索取。
適用于微電子工業的Apical聚酰亞胺薄膜有AV型和NP型兩種。AV型與Kapton取的H(N)型和V(N)型具有相同的化學結構。
NP型和Kapton霉+K(N)型在化學結構上很相似(圖lo—10)。但是,所用有機芳香族二胺ODA和PPD的克分子配比沒有公開。據推測,NP型聚酰亞胺薄膜具有規整的化學結構,類似嵌段共聚物,但是,沒有公開的文獻披露。兩者在結構上的相似性使人們推測它們的性質也相似,事實上也確實如此。

3、 Upilex聚酰亞胺薄膜
日本東京的Ube工業公司推出了Upilex系列聚酰亞胺薄膜材料。這些材料已經在美國由Uniglobe Kisco公司實現了商業化。
適用于微電子工業的型號是Upilexg S型。它是由3,3’,4,4’一聯苯四酸二酐(BPDA)和對苯二胺(PPD)制備的。這類材料具有剛硬的骨架結構,因而表現出高的模量、低的TCE以及很小的吸水性,雖然將這類薄膜在高溫下強堿水解可得到原材料有機芳香族四酸和有機芳香二胺。這類材料可適用于不需刻蝕的各種應用目的。


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